锆硅旋转靶 支持定制

锆硅旋转靶

锆硅旋转靶

纯度：≥99.9%   99.95% ；可定制

牌号/成分比例：Zr35Si65 ；可定制

常用规格：外径70-152.4mm；长度1000-4000mm；壁厚4-10mm;  尺寸灵活可定制

晶粒尺寸：＜30μm

理论密度与颜色：≥98.5%  暗灰色至灰黑色，金属光泽暗淡

产品工艺及公司优势

生产工艺：粉末制备→冷等静压→热压烧结/热等静压→机械加工→质检

产品特点与优势：1. 纯度高、致密度高、晶粒细小、成分稳定、低孔隙率，溅射均匀、膜层厚度稳定、使用寿命长、尺寸灵活、任意元素定制、品控严格、交期迅速。2. 可形成高k介电材料、可形成纳米复合涂层、高硬度、良好的耐磨性和抗氧化性、异的热稳定性和化学稳定性。

产品凭借以上优势，可满足科研实验、半导体高端制造的严苛要求，同步提供靶材实验服务，加速客户产品迭代与性能验证，持续为全球靶材行业赋能。

公司采用的粉末冶金（P/M）、电子束熔炼（EB）和真空自耗熔炼（VAR）工艺，实现高熔点金属的提纯，支持超大型靶材锭坯、管坯（单重500kg-2t）定制开发，纯度达99.99%-99.999%。

检测中心配备日本日立扫描电镜、ICP光谱仪等检测设备，对材料成分、晶粒度、致密度等20余项指标全流程监控，严格把控品质。能够与客户共同开发定制化产品，解决前沿技术难题。

系列产品

锆硅旋转靶/锆硅平面靶/锆硅靶材坯料

金属靶、陶瓷靶、合金靶、高熵合金靶、蒸发料、化合物颗粒、高纯靶材坯料、靶材用喷涂粉等

产品应用

适用工艺：射频磁控溅射

主要应用于低辐射玻璃，例如建筑玻璃、汽车玻璃、家电玻璃等

半导体器件 - 栅极介电层（历史应用）

动态随机存储器（DRAM） - 电容介电层

耐磨耐高温涂层：Zr-Si-N纳米复合涂层可用于切削刀具、模具的表面强化，提供高硬度和抗氧化保护，尤其在加工某些难加工材料时可能有独特优势

产品成分

锆硅旋转靶作为高性能靶材之一，近年来在工业制造和科研领域中扮演着越来越重要的角色。作为北京兴荣源科技有限公司的重要产品，公司依托先进的生产技术和丰富的行业经验，提供锆硅旋转靶的定制服务，满足不同客户的多样化需求。本文将从产品特性、应用价值、定制优势及选购建议等多个角度，深入探讨锆硅旋转靶的独特价值与发展趋势。

一、锆硅旋转靶的材料特性及优势

锆硅旋转靶主要由锆（Zr）与硅（Si）合金化组成，这种材料结合了锆的高熔点与硅的化学稳定性，表现出优异的耐高温性和耐腐蚀性能。旋转靶在靶材工作时通过旋转运动，能够有效分散热量，防止局部过热导致表面剥落或结构破坏，显著提升了靶材的使用寿命和成膜质量。

具体来说，锆硅合金靶的关键优势包括：

• 高热导率，避免靶面热点形成

• 化学稳定性好，可耐受复杂工艺气氛

• 高机械强度，保证靶体在高速旋转和长时间使用下的稳定性

• 均匀成分分布，实现稳定的溅射速率和膜层质量

二、应用领域的广泛性

锆硅旋转靶因其特殊材料特性，在薄膜沉积、半导体制造、光电子器件及耐磨涂层等多个领域有着的作用。例如在光伏产业中，锆硅膜层能有效提高光电转换效率和器件耐久性；在集成电路的制造过程中，锆硅靶材作为关键靶源，确保了高纯度且均匀的薄膜沉积，提升芯片性能和良品率。

北京兴荣源科技有限公司注重对市场需求的深刻理解，研发的锆硅旋转靶以适配各种复杂工艺和高难度应用，助力客户实现产品技术升级和性能优化。

三、支持定制服务，满足个性化需求

标准化产品虽具备一定通用性，但在实际应用中，客户往往面临材料配比、靶体尺寸、纯度等级和机械结构等不同层面的定制要求。兴荣源科技以客户需求为核心，提供全方位的定制解决方案：

• 材料配比调整：根据客户工艺环境和目标性能灵活调整锆硅比例，优化膜层性能

• 尺寸规格定制：支持不同直径及形状，满足各类溅射设备需求

• 纯度及杂质控制：严格控制原材料纯度，提升产品稳定性和靶材寿命

• 机械加工与装配：可选配针对特定设备的旋转安装结构与冷却系统设计

这种灵活的定制能力不仅满足了高端客户的要求，也降低了工艺变异风险，提高了生产效率。

四、技术创新与质量保障

北京兴荣源科技有限公司依托于北京本地丰富的科研资源与人才优势，持续进行技术创新。采用先进的真空熔炼、高温烧结与精密机械加工工艺，保证锆硅靶材的致密性和均匀性。，公司建立了完善的质量检测体系，从原材料采购、生产工艺到出厂检测均实行严密控制。

兴荣源还注重售后服务，为客户提供技术支持与快速响应，确保靶材在实际使用过程中表现稳定，不断优化客户的生产体验。

五、购买建议与未来展望

选择锆硅旋转靶，应从产品性能、服务能力及供应商实力三个维度综合考虑。北京兴荣源科技有限公司不仅在材料质量和定制能力处于行业，也拥有稳定的供货保障和完善的技术支持。特别是在面临工艺升级或新产品开发时，选择一家能够提供个性化服务的供应商尤为重要。

未来，伴随新兴产业如5G通信、量子信息及新能源材料技术的发展，锆硅旋转靶的应用场景将更加丰富，对产品性能和定制化要求也日益提升。兴荣源科技将持续聚焦技术创新和客户需求，助力产业高质量发展。

来说，锆硅旋转靶不仅是关键的工业材料，更是推动现代科技进步的重要基石。选择北京兴荣源科技有限公司的锆硅旋转靶及定制服务，企业能够获得更稳定、更高效的生产保障，助推产品性能的持续提升。期待与您携手，共创未来。