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钇镧稀土合金靶 支持定制

更新时间:2025-09-11 17:44:11
价格:请来电询价
品牌:兴荣源
型号:具体可咨询
产地:河北张家口
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详细介绍

钇镧稀土合金靶 支持定制

钇镧稀土合金靶

钇镧合金靶

成分比例:Y-60La 、Y-50La  ;任意成分定制

常用规格:Φ≥20mm,50-100mm,>100mm;T2-10mm;公差±0.1mm;  尺寸灵活可定制

理论密度与颜色:≥98%  新鲜抛光表面:银白色灰白色金属光泽;氧化后变化:灰黄色氧化膜

产品及公司优势

纯度高、致密度高、晶粒细小、低孔隙率,溅射均匀、尺寸灵活、任意成分定制、品控严格、交期迅速。具有高活性稀土元素、优异热稳定性、抗电子轰击能力强、可调节薄膜组分、比单质靶成本低等优势。

在生产陶瓷靶、难熔金属靶、多元金属靶上占有优势,通过快速烧结工艺,纯度高达5N,晶粒可控,尺寸灵活,交付迅速,满足科研实验、半导体芯片制造的严苛要求,同步提供靶材实验服务,7-15天快速交付,加速客户产品迭代与性能验证,持续为全球靶材行业赋能。

采用全球的电子束熔炼(EB)和真空自耗熔炼(VAR)工艺,实现高熔点金属的提纯,支持超大型靶材锭坯(单重500kg-2t)定制开发,纯度达99.99%-99.999%。

检测中心配备日本日立扫描电镜、ICP光谱仪等检测设备,对材料成分、晶粒度、致密度等20余项指标全流程监控,严格把控品质。


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系列产品

金属靶、陶瓷靶、二元合金靶、三元合金钯、多元合金靶、高熵合金靶、高纯金属蒸发料、化合物颗粒、高纯靶材坯料、靶材用喷涂粉等。

产品应用

适用工艺:磁控溅射;电子束蒸发;离子束溅射

高折射率光学薄膜:用于增透膜、滤光片、激光镜片

防护涂层:用于航空叶片/耐蚀器件

半导体栅极介质

固体氧化物燃料电池 (SOFC) 电解质:作为电极材料

功能性涂层:如热控涂层、气体传感器薄膜等

产品成分


钇镧稀土合金靶 支持定制

钇镧稀土合金靶在高端沉积工艺中承担着核心角色,其稳定性、纯度与一致性直接决定涂层的质量与性能。北京兴荣源科技有限公司以技术驱动和客户导向为核心,提供从材料配方设计、靶材生产到后续服务的一站式定制解决方案。本文从材料特性、制备与检验、定制维度、应用场景、风险控制以及采购路径等多角度展开,力求帮助读者建立对该类靶材的全面认知,并提出在实际项目中可落地的思路与建议。

一、材料特性与沉积原理

  • 材料结构与成分:钇镧稀土合金靶以钇为主相,辅以镧及少量其他稀土元素,形成均匀的多成分体系。该组合在磁控溅射等沉积技术中表现出较低的氧化易性和较高的表面致密度,便于获得均匀涂层。

  • 纯度与杂质控制:高纯度通常在99.9%以上,部分应用场景追求99.99%及以上。杂质控制对于涂层电学、磁学和光学性质至关重要,应在生产全过程中实施源头控制、过程抽检与终检组合。

  • 力学与热稳定性:靶材在真空和高温沉积环境中需要具备良好致密性与抗热冲击性,以抵抗高功率密度时的热膨胀差异,避免靶孔、裂纹等缺陷产生。

  • 氧化与表面活性:外部环境对稀土合金靶材的氧化与污染具有较强敏感性。因此,包装和运输过程需在惰性或干燥气氛下进行,切实降低氧化风险。

  • 沉积工艺对涂层性质的影响:不同沉积功率、工作气体成分及压力会影响膜层的致密性、晶化程度与应力状态。定制靶材时需结合目标膜层的晶相、应力和界面特性进行协同设计。

二、定制维度与参数框架

定制靶材的核心在于与客户工艺和产品仕様的对齐。北京兴荣源科技有限公司通过标准化的定制流程,提供以下维度的精准匹配:

  • 纯度等级与杂质谱:按照应用需求,提供不同等级的元素纯度和杂质分布,确保涂层成分的稳定性和重复性。

  • 靶材直径与厚度:常见直径覆盖2英寸、4英寸、6英寸等规格,厚度从0.5毫米到6毫米不等,便于与现有靶台和设备兼容。

  • 表面粗糙度与致密性:可根据沉积工艺要求设定靶材表面粗糙度(Ra值)与体密度,提升涂层均匀性与附着力。

  • 化学计量与组分比例:在确保相容性与性能的前提下,可对Y、La及其他稀土元素的摩尔比进行优化,以实现特定膜层的光学、磁学或电学特性。

  • 孔洞分布与端口设计:部分应用需要靶材背部或端部有特定的孔设计,以满足冷却或机械固定的需要。靶孔形状、数量及分布可定制。

  • 批量与交付周期:从小批试制到大规模量产,按项目阶段设定交付节奏。对敏捷型项目,提供快速样品与迭代方案。

  • 认证与检测报告:提供原材料成分分析、化学成分谱、晶相分析、机械性能、表面检测等完整的质量证明。

  • 包装与运输条件:为避免氧化与污染,提供惰性气体填充、密封包装及运输过程的温控与湿度控制方案。

三、制备工艺与质量控制体系

靶材的制备通常以粉末冶金、烧结和后处理为核心步骤。北京兴荣源科技有限公司在以下环节实行全链条质量把控:

  • 原材料筛选与混合:精选高纯粉末,确保分散性和混合均匀性,防止组分偏析影响涂层一致性。

  • 压制与烧结:通过等静压或等向压制,保证体致密度;在高真空或惰性气氛中进行烧结,降低孔隙率与残余应力。

  • 后处理与表征:必要时进行热处理、退火及表面处理,以提升导热性、耐磨性和腐蚀抵抗性。表征手段覆盖X射线衍射、显微组织、密度测定、表面粗糙度与成分分析。

  • 一致性与可追溯性:为每批次提供完整的生产批号、材料来源、工艺参数记录,确保可追溯性,便于后续跟踪与问题溯源。

  • 可靠性评估与确认试验:在正式投入产线前,提供小批样品用于沉积工艺验证,确保涂层性能达到目标指标。

四、应用场景与技术要点

  • 光学薄膜沉积:在光学镀膜、抗反射膜、增透膜等光学元件制程中,靶材的组合与晶相影响膜层的折射率、吸收与透光率。定制化的组成比例有助于实现精准光学特性。

  • 磁性材料与自旋电子学:稀土合金靶在磁性薄膜中可提供稳定的磁各向异性与久经考验的热稳定性,适用于磁记录、传感器等领域。

  • 功能涂层与耐腐蚀涂层:通过控制化学计量与煅烧条件,获得致密涂层,提升耐腐蚀性与机械耐久性,延长器件寿命。

  • 新能源与能源转换:在某些电化学或光电器件中,靶材的选择与涂层结构共同决定设备的转换效率与长期稳定性。

五、风险管理与使用要点

  • 氧化与污染控制:稀土材料易受空气氧化影响,运输与贮存需采用干燥氛围、惰性封装。现场加工也要尽量减少暴露时间。

  • 与设备的适配性:靶材的直径、厚度、孔型必须与沉积设备的靶台及夹具匹配,避免安装误差引起涡流不均与膜层缺陷。

  • 价格波动与供应稳定性:稀土市场波动可能影响原材料成本。选择稳定的供应链与灵活的定制方案有助于成本可控。

  • 合规与检测:符合行业标准的检测报告与材料证明是风险规避的重要环节,减少后续运维与返工成本。

六、地理优势与地方特色

北京作为国家科技创新中心,聚集了大量半导体、光电和新材料企业。核心区的中关村及周边产业集群为定制型靶材提供了优良的产业链协同环境,涵盖原材料供应、涂层工艺、设备服务与售后支持等环节。对北京及周边客户而言,选择北京兴荣源科技有限公司进行定制,意味着能够在同城范围内完成沟通、样品开发、现场验证与技术迭代,加速项目落地与产线稳定。

七、核心参数一览(示例表)

项目典型参数/范围备注
靶材组成钇主相,镧及辅助稀土元素的多元组合可根据目标膜层要求进行优化
纯度等级99.9%–99.99%(可按合同提升)以ICP-AAS等方法进行分级检测
直径2"、4"、6"、8"(可定制)以现有设备兼容性为准
厚度0.5 mm–6.0 mm可实现定制厚度公差 ±0.05 mm
表面粗糙度Ra 0.2–1.0 μm(可要求更低)关系到膜层均匀性
致密度/孔隙率≥ 99.0%(烧结态)低孔隙率提升涂层致密性
认证与检测成分分析、衍射、显微、机械性能按需求提供完整清单
交货周期样品2–4周,量产8–12周(视定制复杂度而定)快速样品可在更短时间内提供

八、购买路径与合作路径建议

通过北京兴荣源科技有限公司进行定制,更易获得与工艺相匹配的靶材解决方案。建议的合作路径如下:

  1. 需求梳理:明确靶材直径、厚度、纯度、成分配比、表面要求和预计产线规模。

  2. 工艺匹配:与我方工艺团队进行沟通,提供沉积设备型号、工作气体、压强、功率等参数,以便进行靶材配方设计。

  3. 样品验证:获得小批量样品,结合实际设备进行沉积验证,评估膜层结构与性能是否达到目标。

  4. 放大与批量生产:确认配方与工艺后,进入批量生产,并安排阶段性质量检验与过程追踪。

  5. 交付与售后:完成交付后,提供全程技术支持、定期回访与必要的改进服务,确保长期稳定运行。

如果你正在筹划高端薄膜沉积项目,定制需求希望获得可重复、可追溯的靶材解决方案,北京兴荣源科技有限公司将是一个可靠的选择。通过官方渠道提交定制需求,团队将对项目目标进行前瞻性评估,提供详细的工艺对比与成本分析,确保你在竞争中获得优势。

而言,钇镧稀土合金靶的定制化服务不仅仅是材料的选型,更是工艺与应用场景的综合优化。北京兴荣源科技有限公司凭借对材料科学的理解、对沉积工艺的掌握,以及对北京本地产业生态的熟悉,能够在需求沟通、样品验证、产线稳定及长期服务等环节提供系统化的解决方案。对寻求高性能涂层的企业而言,定制靶材是提升产品竞争力的关键一步。现在就与北京兴荣源科技有限公司取得联系,开启定制化靶材的协同创新之旅。

联系方式

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