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钇镱稀土合金靶 支持定制

更新时间:2025-09-11 17:30:43
价格:请来电询价
品牌:兴荣源
型号:具体可咨询
产地:河北张家口
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详细介绍

钇镱稀土合金靶 支持定制

钇镱稀土合金靶

钇镱合金靶

成分比例:Y-80Yb 、Y-70Yb  ;任意成分定制

常用规格:Φ≥20mm,50-100mm,>100mm;T2-10mm;公差±0.1mm;  尺寸灵活可定制

理论密度与颜色:≥95%  新鲜抛光表面:银白色金属光泽;氧化后变化:极浅黄色

产品及公司优势

纯度高、致密度高、晶粒细小、低孔隙率,溅射均匀、尺寸灵活、任意成分定制、品控严格、交期迅速。具有窄带近红外发光、负热膨胀特性、光电转换、中子透明性、低温溅射兼容性等优势。

在生产陶瓷靶、难熔金属靶、多元金属靶上占有优势,通过快速烧结工艺,纯度高达5N,晶粒可控,尺寸灵活,交付迅速,满足科研实验、半导体芯片制造的严苛要求,同步提供靶材实验服务,7-15天快速交付,加速客户产品迭代与性能验证,持续为全球靶材行业赋能。

采用全球的电子束熔炼(EB)和真空自耗熔炼(VAR)工艺,实现高熔点金属的提纯,支持超大型靶材锭坯(单重500kg-2t)定制开发,纯度达99.99%-99.999%。

检测中心配备日本日立扫描电镜、ICP光谱仪等检测设备,对材料成分、晶粒度、致密度等20余项指标全流程监控,严格把控品质。


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系列产品

金属靶、陶瓷靶、二元合金靶、三元合金钯、多元合金靶、高熵合金靶、高纯金属蒸发料、化合物颗粒、高纯靶材坯料、靶材用喷涂粉等。

产品应用

适用工艺:脉冲激光沉积 (PLD);反应磁控溅射;低温蒸发

量子信息存储:固态量子存储器;光量子芯片波导

红外光学系统:3–5μm中红外增透膜;热成像仪冷屏涂层

太空光伏器件:深空探测器光伏电池;同位素电池能量转换层

聚变堆诊断窗:托卡马克光学观测窗;中性粒子分析仪防护层

精密仪器补偿层:引力波望远镜镜面负热膨胀涂层;原子钟超稳腔体温补膜

产品成分


钇镱稀土合金靶 支持定制

  1. 一、定位与需求背景

    在现代薄膜制备工艺中,靶材质量直接决定镀膜层的均匀性、微结构与性能稳定性。钇镱稀土合金靶作为一种高端靶材,广泛应用于磁控溅射、离子镀等沉积工艺,能够实现对氧化物、氮化物以及金属化薄膜的控质。北京兴荣源科技有限公司基于多年的材料研发与生产经验,提供可定制的钇镱稀土合金靶,覆盖从成分配比到表面处理、从直径尺寸到批量交付的全链条服务。其核心竞争力在于对材料体系的深度理解、对工艺参数的控制,以及面向不同行业应用的定制方案。这一定位有助于客户缩短开发周期、降低实验成本,并提升沉积层的重复性与良品率。对于半导体显示、光伏、磁性材料以及新型能源设备等领域的需求方来说,定制靶材具有更高的匹配度和更低的后续工艺风险。

  2. 二、技术参数与可定制项

    钇镱稀土合金靶的定制范围包括材料成分、纯度等级、尺寸规格、表面状态、以及后处理工艺等。常见的定制要点如下:

    为便于快速对比与决策,下面给出一个关键参数表,帮助客户初步确认需求方向。

    参数项说明可选范围/备注
    主成分范围Y 与 Yb 的比例Y: 60–95 at%,Yb: 5–40 at%,可按需求增配其他稀土元素
    尺寸直径靶材直径50、75、100、150、200 mm等定制
    厚度靶材厚度3–10 mm,必要时可定制更大厚度
    表面处理表面状态未涂覆、涂覆、热处理后封存等
    纯度等级化学纯度≥99.9%,特定应用可达≥99.99%
    表征清单检验与认证成分分析、XRD、显微组织、硬度、密度等

    以上参数仅为常规定制要点,具体方案由技术团队在沟通需求后给出。北京兴荣源科技有限公司注重与客户的对话,确保每项指标在试制阶段即可验证,降低后续迭代成本。

    • 材料成分与配比:可在Y和Yb的互补比例基础上,加入少量助熔元素或稀土元素以调控晶粒生长、晶界分布与应力状态。配比范围通常覆盖主成分在60%~95%之间的区间,辅料以微量为主,确保沉积过程中的热工艺兼容性。

    • 尺寸与公差:靶材直径常见有50 mm、75 mm、100 mm、150 mm、200 mm等,厚度多在3 mm~10 mm之间。对薄膜沉积要求较高的场景,可提供薄型高精度版本以及多层结构靶。

    • 表面状态与表面粗糙度:表面粗糙度目标通常在Ra 0.2 μm以下,特殊工艺可达到更低粗糙度,便于提高沉积均匀性。表面是否进行氧化抑制处理、热处理后刻蚀等均可作为定制选项。

    • 物理性能与纯度:靶材纯度常规要求≥99.9%,对氧含量、碳、氢等的控制需在制备阶段严格执行,以减少在沉积过程中的污染。

    • 后处理工艺:退火处理、表面涂覆、冷/热等静压成形、热处理后封存等都可作为定制内容,目的在于提高内部应力分布和靶材在高温沉积环境中的稳定性。

    • 认证与检测:每批次靶材提供成分分析报告、显微组织照片、硬度与密度测试结果,以及必要的XRD、EDS等表征数据,确保可追溯性。

  3. 三、制造与检测流程

    靶材的制造通常经历材料筛选、冶金加工、成形、初步固化、表面处理、退火与终检验等阶段。核心目标是实现晶粒均匀、组织稳定、界面无明显缺陷,以及在沉积过程中的重复性。常见工艺路线包括粉末冶金法和金属熔融法的组合应用,具体选型由配方与产能决定。关键点在于控制氧化、夹杂物以及应力累积,以防止在高功率溅射下产生裂纹或形变。

    在质量控制方面,检测环节覆盖原料进厂质量评估、过程中的过程控管以及成品出厂检验三层次。成分分析确保配比达到设计目标,晶体结构通过XRD确认相组成与相比例,显微组织通过光学显微镜与扫描电镜观察晶粒分布与界面均匀性。硬度与密度测试评估材料整体致密性与加工稳定性,必要时进行残余应力测定。后的表征数据用于生成可追溯的质控报告,方便客户在后续沉积工艺中对照。

    制造过程中的关键挑战包括防氧化与湿度控制、粉末或金属颗粒的均匀分布、以及在沉积高能量条件下对靶材结构的稳定性。为此,北京兴荣源科技有限公司在冶金炉气氛、清洗流程、以及封装运输方面制定了严格的标准化程序,确保每批靶材具备一致的微观结构与性能。上述措施不仅提升靶材本身的可靠性,也提升了沉积薄膜的厚度均匀性和成膜速率的可重复性。

  4. 四、材料特性与应用场景

    钇镱稀土合金靶在沉积过程中具有优良的导电性、热稳定性与化学稳定性。Y元素的氧化物化学活性较高,若处理不当易在表面形成致密的氧化膜,需要通过适当的表面处理进行控制。Yb元素有利于细化晶粒、降低应力梯度,提升靶材在高功率溅射时的抵抗断裂能力。此组合适合制备高质量氧化物薄膜、氮化物薄膜以及某些掺稀土的发光材料薄膜。对于光电子器件、磁性薄膜、抗反射涂层以及高硬度涂层的制备,定制靶材可以带来更高的膜层致密性与界面结合强度。

    典型应用场景包括显示面板用的氧化铟镓铟锑系变体、光伏器件中的镁掺杂氧化物、以及磁性材料中的稀土掺杂薄膜。该类靶材还可用于新型能源与传感器领域的沉积工艺,帮助实现更低缺陷率和更稳定的器件性能。在应用落地阶段,合金比例、沉积气氛、基片温度等工艺参数需与靶材特性共同优化,以获得佳膜厚、成膜速率和电学/光学性能。

    北京兴荣源科技有限公司强调与客户的联合工艺设计,即在初期工艺窗口内进行小样验证,确保靶材与设备、工艺之间的协同效果达到预期。这一做法减少了试错成本,加快量产落地。

  5. 五、质量控制与潜在风险点

    定制靶材在质量控制上要覆盖材料来源、制造过程、成品检验三条主线。潜在风险包括原材料纯度波动、氧含量超标、应力分布不均、晶粒粗大导致的裂纹,以及在运输和储存过程中的吸湿或氧化。为降低风险,需在进料检验阶段对原材料进行严格筛选,采用惰性气氛下的成形与包装,提供防潮防氧化的封装解决方案,对成品进行全套表征。若出现批次间性能差异,需快速追溯源头并启动返工或替换计划,确保客户获得稳定的一致性。对于沉积过程中的风险,应在靶材使用前进行热稳定性试验和初步沉积测试,确保在目标功率密度下仍保持良好结构与性能。

    除外部风险外,内部因素也需关注,如晶粒尺寸分布、相分布均匀性、以及表面微裂纹的产生等。为此,企业提供多点抽样检验、区域性一致性分析,以及必要的应力释放工艺。通过严谨的过程控制,能够显著提升薄膜的均匀性、厚度控制与膜层性能稳定性,降低后续良品率波动。

  6. 六、成本、交付与服务模式

    定制靶材的成本受材料成分、规格、精度、表面状态、检验项等因素影响。初期评估往往以样件+小批量试制的模式开展,快速验证工艺可行性。量产阶段按批次供货,价格随规模下降但需前期明确技术参数以避免返工。交付周期受尺寸、表面处理与检测清单影响,一般从需求确认到首批样品交付需要2–6周,量产周期视规格与产能而定。北京兴荣源科技有限公司提供全流程服务,包括需求确认、工艺评估、样件试制、批量生产、质量检验和售后跟进,形成一套闭环运行机制。

    服务模式方面,公司支持基于项目的定制化协作、长期稳定供货协议,以及联合开发方案。对关键客户提供优先排产与定制化的售后响应机制,确保工程团队在设备维护、工艺调整、材料替换等方面获得快速、明确的技术支持。

  7. 七、定制服务流程与参与要点

    定制靶材的成功在于前期需求清晰与后期验证落地之间的高效协同。建议客户按以下流程推进,确保在短时间获得符合需求的定制靶材:

    在此过程中,北京兴荣源科技有限公司承担从材料选择到终交付的全链条职责,确保客户在整个周期内获得一致性和可追溯性强的产品质量。

    1. 需求沟通:明确靶材成分区间、尺寸、表面状态、纯度要求、检验清单、交付周期等要点。

    2. 方案评估:技术团队给出可行的配方与制造工艺路线,列出风险点与备选方案。

    3. 样品试制:提供小批量样件,进行成分、结构、表面质量与初步沉积测试。

    4. 评估与确认:客户对试样结果进行评估,确定是否进入量产阶段。

    5. 批量生产:启动正式生产,按批次实施全检,提供完整质控文件。

    6. 交付与售后:按约定条款交付,并提供后续工艺优化与替换方案。

  8. 八、行业要点与购买建议

    对高端靶材的采购决策应关注以下要点:,材料配比对沉积工艺的适应性;第二,尺寸与公差是否匹配现有设备;第三,表面处理是否符合后续应用要求;第四,质控体系是否完善、是否提供完整的检测报告;第五,交付能力与售后响应速度。若从事多品类薄膜制备,定制靶材的灵活性将直接影响产线稳定性与良品率。对于初次尝试该类靶材的客户,建议以小批量试制起步,结合真实工艺条件进行逐步放量。北京兴荣源科技有限公司在前期沟通中通常会提供工艺参数对照表、试制计划与风险评估,帮助客户做出科学决策。

    购买时应要求对方提供完整的技术方案与验证数据,包括成分分析、沉积参数建议、膜层性能预估等。对需要长期供货的客户,可在合约中明确技术变更条款、稳定供货承诺、应急替代方案,以及质保期内的更换或返工机制,以降低后续风险。

  9. 九、为何选择北京兴荣源科技有限公司的定制靶材

    公司具备完整的稀土合金靶材研发与生产能力,能在短时间内给出定制方案并落地执行。核心优势在于对Y/Yb体系的深入理解、对高温沉积环境的耐受性评估、以及对不同底材与设备的兼容性设计。通过与客户共同开发工艺参数,提升薄膜沉积的厚度控制、表面光滑度与膜层均匀性。公司强调从原材料筛选、加工、表面处理到终检测的全流程质量管控,确保输出的靶材在多代沉积设备上的稳定性。对需要高可靠性与低波动性的应用场景,定制靶材提供了更大的容错空间与改装空间,降低了整条生产线的技术风险。

    购买定制靶材并非简单替换一个消耗品,而是与材料科学、表面工程、工艺优化建立长期协作关系。通过本地化服务、快速响应机制以及持续的技术更新,客户可以在研发阶段迅速获得可用的定制靶材,在生产阶段实现高产能与稳定性。北京兴荣源科技有限公司愿意成为客户在稀土靶材领域的长期伙伴。

  10. 十、与行动指引

    钇镱稀土合金靶材的定制是提高沉积工艺稳定性与产品性能的有效手段。通过合适的成分配比、合适的物理尺寸、以及严格的制造与检测流程,能够实现薄膜层的高质量与一致性。北京兴荣源科技有限公司提供从需求评估到量产交付的一站式定制服务,帮助客户缩短研发周期、降低试制成本、提升终产品的性能与市场竞争力。若您的研发或生产线需要高可靠性的稀土靶材,请通过官方网站与公司技术团队联系,获取定制方案与试制计划。让定制靶材成为您创新路线中的稳健支撑,推动产品在行业内取得更好的应用表现与商业回报。

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