真空镀膜用钛靶



更新时间:2024-06-07 10:00:00
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详细介绍
钛靶
产品详情
(1)产品特点:产品纯度:Ni99.99% 产品供应:我公司目前可生产高纯镍锭,镍丝,高纯镍靶等高纯材料。
(2)产品应用:纯度达5N的高纯镍,主要应用于CVD,蒸发材料,制备溅射靶材、磁记录、光电器件、磁传感器和集成电路等材料。
(3)常用规格粒度:常用规格 高纯钛丝 直径:3mm , 6mm,10mm或按客户要求生产 高纯钛条 20*20mm ,或按客户要求生产。 高纯钛锭 直径:150mm,或(4)化学成份以及物理指标(如下图)
(5)产品执行标准:
产品名称 | 成份(at%) | 纯度 | 晶粒尺寸 | 密度 | 制造方法 |
平面靶 | Ti
| 99.9% | <100µm | 99.9% | Melting |
旋转靶 | 99.9% | ||||
规格/尺寸 | 矩形靶材长可达1800mm,圆形靶材直径可达250mm,厚度5-40mm | ||||
