钛硅旋转靶 支持定制











钛硅旋转靶 支持定制
钛硅旋转靶
钛硅旋转靶
纯度:≥99.5% ;可定制
牌号/成分比例:Ti-10Si、Ti-15Si ;可定制
常用规格:外径70-152.4mm;长度1000-3000mm;壁厚3-8mm; 尺寸灵活可定制
晶粒尺寸:<50μm
理论密度与颜色:≥98.5% 暗灰色,金属光泽暗淡
产品工艺及公司优势
生产工艺:粉末制备→冷等静压→热压烧结/热等静压→热处理→机械加工→质检
产品特点与优势:1. 纯度高、致密度高、晶粒细小、成分稳定、低孔隙率,溅射均匀、膜层厚度稳定、尺寸灵活、任意元素定制、品控严格、交期迅速。2. 超高硬度与耐磨性、优异的高温抗氧化性、良好的热稳定性、低摩擦系数、利用率高、使用寿命长、沉积速率高。
产品凭借以上优势,可满足科研实验、半导体高端制造的严苛要求,同步提供靶材实验服务,加速客户产品迭代与性能验证,持续为全球靶材行业赋能。
公司采用的粉末冶金(P/M)、电子束熔炼(EB)和真空自耗熔炼(VAR)工艺,实现高熔点金属的提纯,支持超大型靶材锭坯、管坯(单重500kg-2t)定制开发,纯度达99.99%-99.999%。
检测中心配备日本日立扫描电镜、ICP光谱仪等检测设备,对材料成分、晶粒度、致密度等20余项指标全流程监控,严格把控品质。能够与客户共同开发定制化产品,解决前沿技术难题。
系列产品
钛硅旋转靶/钛硅平面靶/钛硅圆靶/钛硅靶材坯料
金属靶、陶瓷靶、合金靶、高熵合金靶、蒸发料、化合物颗粒、高纯靶材坯料、靶材用喷涂粉等
产品应用
适用工艺:直流反应溅射;脉冲直流反应溅射;射频反应溅射
超硬耐磨涂层(核心应用):高速干式切削刀具(用于镀覆铣刀、钻头、车刀等);精密模具(用于镀覆高磨损的注塑模、冲压模、压铸模等)
高性能零部件表面强化:用于航空航天、汽车发动机等领域的关键运动部件,如轴承、齿轮、活塞环等,提供表面强化,延长在高温、高负载下的使用寿命
耐高温抗氧化涂层:作为防护层应用于需要耐受高温氧化的部件上
产品成分
钛硅旋转靶 支持定制
在现代材料科学和精密制造领域中,钛硅旋转靶作为关键的靶材之一,广泛应用于薄膜沉积、光电子器件、半导体工业等多个前沿领域。北京兴荣源科技有限公司凭借丰富的行业经验和技术积淀,针对客户需求,提供高质量的钛硅旋转靶定制解决方案,助力用户优化工艺、提升产能。
一、钛硅旋转靶的材料特性
钛硅合金靶材融合了钛的轻质、高强度及耐腐蚀性能与硅的半导体特性。这种复合材料在高温及高能粒子轰击环境下,表现出优异的稳定性和寿命,适用于磁控溅射等真空沉积工艺。相比传统纯钛或纯硅靶材,钛硅靶材能够更好地控制薄膜组成和结构,实现性能的调控。
二、旋转靶结构的优势
旋转靶设计是目前靶材使用中的技术趋势,其核心优势在于:
均匀靶面磨损,延长靶材使用寿命。
改善沉积速率和薄膜质量,提高产品一致性。
降低靶材热点,减少设备维护频率。
北京兴荣源科技有限公司采用先进的旋转靶制造工艺,确保靶体平衡、转动流畅,配合的靶材配比,保证产品稳定性。
三、定制服务的多维度探索
不同客户对钛硅旋转靶的需求有所差异。兴荣源科技基于全面的数据积累和工艺研究,为客户提供个性化定制,从以下维度支持用户:
成分定制:根据沉积目标薄膜的性能需求,调整钛与硅的比例,实现佳合金性能。
尺寸定制:根据设备规格和工艺参数,提供多尺寸、多规格的靶材产品,兼容主流磁控溅射设备。
加工精度:针对高端应用,靶材表面平整度、密度和结构均经过严格控制,提升靶材转动的平衡性和工艺稳定性。
售后支持:提供的技术咨询、定期回访及定制方案优化,确保客户生产过程稳定高效。
四、行业应用与案例分享
钛硅旋转靶在多个重要领域中已有成功应用:
光电子行业:用于制备透明导电薄膜,提高器件的导电率与透光率。
半导体制造:作为关键材料保证芯片沉积过程中的靶面稳定和薄膜质量。
航空航天:利用钛硅优异的强度和耐热性能,制造高性能涂层。
兴荣源科技与多家企业合作,通过定制化钛硅旋转靶优化了他们的制造工艺,提升了产品竞争力。
五、为何选择北京兴荣源科技有限公司
位于首都北京的兴荣源科技,不仅地处中国科研和产业集群的核心地带,具备资源整合优势,更拥有技术团队,持续投入研发创新。公司秉承“客户至上,品质为魂”的理念,致力于为客户提供符合的钛硅旋转靶产品和服务。
选择兴荣源,意味着获得一站式、定制化的解决方案,将先进材料技术转化为生产力,帮助企业在激烈的市场竞争中稳固优势。
六、
钛硅旋转靶作为工业制造的重要基础材料,其性能和工艺对终产品质量影响巨大。通过定制化的材料配比和靶材设计,可以进一步提升沉积效果和生产效率。北京兴荣源科技有限公司凭借丰富经验和技术实力,提供从材料研发、加工制造到售后服务的全面支持,是您的合作伙伴。
针对未来材料工艺的发展趋势和复杂多样的市场需求,钛硅旋转靶定制服务将成为行业发展的关键驱动力。欢迎有相关需求的企业与兴荣源科技合作,共同开拓材料应用的新高度。