半导体专用高熵合金靶

半导体专用高熵合金靶

成分比例：任意成分定制

常用规格：Φ≥20mm，50-100mm，＞100mm；T2-10mm；公差±0.1mm; 尺寸灵活可定制

产品及公司优势

纯度高、致密度高、超高强度-韧性平衡、极端环境稳定性、耐腐蚀性、功能可定制性

在生产陶瓷靶、难熔金属靶、多元金属靶上占有优势，通过SPS烧结工艺，纯度高达5N，晶粒可控，小靶材日产能＞25块，尺寸灵活，交付迅速，满足科研实验、航空航天等高端制造的严苛要求，同步提供靶材实验服务，7-15天快速交付，加速客户产品迭代与性能验证，持续为全球靶材行业赋能。

采用的电子束熔炼（EB）和真空自耗熔炼（VAR）工艺，实现高熔点金属的精准提纯，支持超大型靶材锭坯（单重500kg-2t）定制开发，纯度达99.99%-99.999%。

检测中心配备日本日立扫描电镜（5万倍）、ICP光谱仪等检测设备，对材料成分、晶粒度、致密度等20余项指标全流程监控，严格把控品质。

系列产品

金属靶、陶瓷靶、二元合金靶、多元合金靶、高熵合金靶、高纯金属蒸发料、化合物颗粒、高纯靶材坯料，靶材用喷涂粉等。

产品应用

适用工艺：磁控溅射

极端环境防护：航空发动机涂层（AlCoCrFeNiTi）；核聚变第一壁（WTaVCrTi）；深海装备防腐（CrMoNbTaW）

电子与能源器件：半导体互连（CuAgAuPdPt）；锂电集流体（AlCoCuFeNi）；热电薄膜（TiZrHfNbTa-BiTe复合）

生物医疗与工具：骨科植入物（TiNbTaZrMo）；切削刀具涂层（AlCrNbSiTiN）；微创手术器械（CoCrFeMnNi-Pt复合）

生物医学传感器：磁性标记薄膜

智能隐身材料：宽频吸波涂层

产品成分产品成分

产品成分